◆ 外形尺寸(处理单元)
2100(W)×1200(D)×2050(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢，约1200升，锥形)
1000(W)×1200(H)mm
◆ 处理材料
单批次重量：100KG
◆ 等离子发生器(美国MKS)
频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界***品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华(Edwards)爪式干泵 GV160 (40L/S)
英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CK高真空气阀组件
