蚀刻清洗台适用产业：半导体照明（LED）--PSS工艺段、外延工艺段、芯片工艺段；
控制模式：手动控制模式、自动控制模式；
制程应用：显影制程； 蚀刻（微蚀刻）制程；去光阻清洗制程；去蜡（胶）清洗制程；精密清洗制程；光罩去光阻清洗制程
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