项目（一） | 太阳能级多晶硅等级指标（一） | ||
1级品 | 2级品 | 3级品 | |
基磷电阻率，Ω·cm | ≥100 | ≥40 | ≥20 |
基硼电阻率，Ω·cm | ≥500 | ≥200 | ≥100 |
少数载流子寿命，μs | ≥100 | ≥50 | ≥30 |
氧浓度，atoms/cm3 | ≤1.0×1017 | ≤1.0×1017 | ≤1.5×1017 |
碳浓度，atoms/cm3 | ≤2.5×1016 | ≤4.0×1016 | ≤4.5×1016 |
项目（二） | 太阳能级多晶硅等级指标（二） | ||
1级品 | 2级品 | 3级品 | |
施主杂质浓度ppba | ≤1.5 | ≤5.4 | ≤50.4 |
受主杂质浓度ppba | ≤0.5 | ≤2.7 | ≤27 |
基体金属杂质，ppmw | Fe、Cr、Ni、Cu、Zn TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.05 | Fe、Cr、Ni、Cu、Zn TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.1 | Fe、Cr、Ni、Cu、Zn TMI(Total metal impurities)总金属杂质含量：≤0.2 |
注： 1，基体金属杂质检测可采用二次离子质谱、等离子体质谱和中子活化分析，由供需双方协商解决。 2，每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某项超出指标，则降为下一级。 3, 3级品主要应用于多晶硅锭的生产。 | |||
太阳能级多晶硅
