Y45铟晶体生长炉，利用石墨加热器和难轴拉轴（直拉法）。，专业越来越铟单晶硅半导体应用。
项目 | 规范 | |
1 | 充电大小 | 5千克 |
2 | 炉腔大小 | ∮450 * 900MM |
3 | 种子升降率 | 0.1-8mm/min |
4 | 种子慢跑率 | ≥为300mm/min |
5 | 种子旋转（可逆） | 1-50RPM |
6 | 种子总行程 | 600毫米 |
7 | 坩埚慢跑率 | 50mm/min的 |
8 | 坩埚旋转 | 1-50RPM |
9 | 总坩埚旅游 | 150毫米 |
10 | ***大加热功率 | 40KW |
11 | ***大加热温度 | 800℃ |
12 | 电极距离/数量 | ∮350/2 |
13 | ***大在环境温度的真空。 | 6.7×10 -3 |
