DRF-85单晶生长炉的硅是能够生长硅锭的直径8英寸太阳能及半导体应用。TLPE为客户提供高性能(高拉速和低功耗)热区的设计和工艺,它可以显着降低运营成本,提高晶体质量。
| 项目 | 规范 |
1 | 锭直径 | ∮6“-8” |
2 | 充电大小 | 65kg/18“坩埚; 95kg/20”坩埚 |
3 | 炉膛尺寸 | ∮850×1250mm结构 |
4 | 喉径 | ∮260毫米 |
5 | 拉商会大小 | ∮280 * 2000MM |
6 | 种子升降率 | 0.2-8mm/min |
7 | 种子平动,旋转(可逆) | 0-30RPM |
8 | 坩埚旋转(可逆) | 0-20rpm的 |
9 | 总坩埚旅游 | 380毫米 |
10 | Crucibel升降速率 | 0.02-1mm/min |
11 | 电器(变压器容量) | 190KVA |
12 | 电极距离/数量 | ∮436毫米/ 2 |
13 | ***大真空环境温度下。 | <3Pa的 |
14 | 重量 | 3400公斤 |
15 | 尺寸 | 2000 * 1300 *7000毫米(L * W * H) |