DRF-95B单晶硅生长炉的升级
DRF-95炉，配备了全自动化控制系统。武装的与TLPE高性能（高拉速及低功耗）热区，客户可以受益于一个显着降低运营成本，以及改善的结晶质量。DRF-95B是目前***先进系统在TLPE的产品线。
| 项目 | 规范 |
1 | 锭直径 | ∮8“-10” |
2 | 充电大小 | 120kg/22“坩埚; 150kg/24”坩埚 |
3 | 炉膛尺寸 | ∮950×1250mm结构 |
4 | 喉径 | ∮300毫米 |
5 | 拉商会大小 | ∮300 *2500毫米 |
6 | 种子升降率 | 0.2-8mm/min/3500mm |
7 | 种子旋转（可逆） | 0-30RPM |
8 | 种子动速度 | 400mm/min |
9 | 坩埚旋转（可逆） | 0-20rpm的 |
10 | 总坩埚旅游 | 450mm/120mm/min |
11 | 电器（变压器容量） | 190KVA |
12 | 电极距离/数量 | ∮500毫米/ 4（正常） |
13 | ***大真空环境温度下。 | <2PA |
14 | 坩埚升降率 | 0-120mm/min |
15 | 重量 | 4500公斤 |
16 | 尺寸 | 2400 * 1410 *7300毫米（L * W * H） |
