1. 设备概况
JX-300硅芯炉适合于多晶还原炉电极导体暨籽晶的生长,在低真空状态下充入氩气或氢气(不流通)利用高频线圈区域加热晶体母材使之产生溶池,用夹持籽晶的软轴引晶,拉制直径8毫米的晶棒供给多晶还原炉生产所需,JX-300硅芯炉可生产长2600毫米的硅芯。
2. 技术参数
项目 | 参数 |
原料规格 | Ф40×400 |
成品规格 | Ф8×2200㎜、 Ф8×2600㎜ |
加热电源 | (2.0-2.5MHz) 30kW、70kVA |
真空度 | ≤3Pa |
炉体总高 | 5100mm/5300mm |
炉体重量 | ≈2500kg |