1. 设备概况
JRDL-900系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉，采用PLC控制，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热，将硅半导体材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备。它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶，JRDL-900-AT全自动型软轴单晶炉可实现从抽真空到收尾全自动控制。
2. 技术参数
| 项目 | 参数 |
| 主加热器***大功率 | 180kW |
| 主加热器***高加热电压 | 60V |
| 整机功率 | ≤190kW |
| 炉内***高温度 | 1600℃ |
| 生长晶体的直径范围 | ≤10″ |
| 熔料重量 | 100kg – 120kg |
| 单晶硅生长时间/炉 | ≈45h |
| 主机总高 | 6935㎜ |
| 整机占地面积 | 5300㎜×3300㎜ |
