型号 156×156(mm) 125×125(mm)
生长方法 柴氏法CZ 柴氏法CZ
型号掺杂 P/N型掺硼/磷 P/N型掺硼/磷
晶向偏差 <100>±2° <100>±2°
氧含量 ≤1.0×1018 atoms/cm3 ≤1.0×1018 atoms/cm3
碳含量 ≤5.0×1016 atoms/cm3 ≤5.0×1016 atoms/cm3
少子寿命 ＞10μs ＞10μs
电阻率 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm 0.5-3Ω.cm 3-6Ω.cm
位错 ≤2000/cm2 ≤2000/cm2
准方边长 156±0.5 mm 125±0.5 mm
对角线尺寸 200±0.5 mm 150±0.5 mm
翘曲度 ≤70µm 70µm
TTV ≤40μm 40μm
