管式镀膜自动装卸载设备,可有效实现石墨舟在线装卸载硅片,设备具备uptlme高、维护成本低.空间占用小等优点,可有效提升工厂产出。此设备为客户提供了—个管式镀膜制程在线装卸载硅片方案,精良的伯努利及真空机器手实现精确稳定的硅片定位及取放,可有效提高此制程的品质。同时.可选配搭载视觉颜色检测模组。
管式镀膜硅片自动装载设备
管式镀膜硅片自动装载设备
详细信息 管式镀膜自动装卸载设备,可有效实现石墨舟在线装卸载硅片,设备具备uptlme高、维护成本低.空间占用小等优点,可有效提升工厂产出。此设备为客户提供了—个管式镀膜制程在线装卸载硅片方案,精良的伯努利及真空机器手实现精确稳定的硅片定位及取放,可有效提高此制程的品质。同时.可选配搭载视觉颜色检测模组。 |
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