sL-系列设备用于搭载各式扳式嘲奠系统,不仅是快速及稳健的上下硅片系统,而且可帆单性及方便运载各种不同大小硅片。为因应不同制程,sL-系列设备亦可弹性的经由软件设定,硅片在镀膜后是否要翻面,以接续下—道制程。完全不需要更动倒可硬体设备。
人性化的视窗介面,提供了使用者快速和方便的设宅与操作,使用者可藉由操作酾,了解目前硅片所在的位置及设备的运作情况。
板式镀膜硅片自动装载设备
详细信息 sL-系列设备用于搭载各式扳式嘲奠系统,不仅是快速及稳健的上下硅片系统,而且可帆单性及方便运载各种不同大小硅片。为因应不同制程,sL-系列设备亦可弹性的经由软件设定,硅片在镀膜后是否要翻面,以接续下—道制程。完全不需要更动倒可硬体设备。 人性化的视窗介面,提供了使用者快速和方便的设宅与操作,使用者可藉由操作酾,了解目前硅片所在的位置及设备的运作情况。 |
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