CISARIS反应炉是一种在线快速热处理RTP设备,用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收层。CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站以及一个回转传送带构成,是大规模生产CIS太阳能组件的理想设备。
CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品率、快生产节拍,再加上强大的硒化工艺,根据配置的不同,能实现年均25MWp以上的生产能力。
主要特点
第二代在线硒化加热炉,优化了生产节拍
对带有金属前驱体涂层(CIG)的玻璃衬底进行快速加热(高达4°C/秒)
均匀的气体分布,通过优化进气系统而降低了耗气量
可在各种工艺过程阶段引进H2S和硒化氢气体
通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加热到550°C以上,从而按要求保证结晶质量
将衬底均匀冷却,避免玻璃翘曲变形
在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制(平均温度变化<5°C)
在大气压强下进行真空工艺处理
通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有氧气和水蒸气
先进的维修理念,所有机器部件都能***方便维护
成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程设计
