几乎所有硅晶片都是通过线锯来切割的。德国新格拉斯科技集团的预清洁及脱胶系统对切割后的硅晶片进行了加工。其中包括去除泥浆,并将硅晶片从其承载器上脱胶。
GERULUS系统可通过多种配置方式来处理任何泥浆和胶水型号。为保证水与表面活性剂的消耗量 达到***低,该系统可以配置一台水与碳化硅循环系统。
主要特点
专利硅晶片清洁
高度集成的成熟设计
高达7,200 wph的产量
适合不间断使用:
24小时/7天,360天/年
高可靠性(工作时间>95%)
***的预清洁概念实现了***佳加工结果和***少的加工时间
符合国际安全规定
