适用于【125x125、156x156】硅片，3600p/hr超大产能。
超声波28KHz~40 KHz***合理搭配，保证清洗更彻底，碎片率更低。
独特的去除切割损伤层功能，提高硅片表面质量。
上下抛动助洗，清洗效果好。
全自动控制，自动配、补液，工艺槽无级循环系统，保证工艺药液的均匀。
高速移载机械手，运行更平稳，定位更可靠，保证运行不产生晃动。
更完善的全自动热风烘干技术，确保硅片干燥。
更人性化的操作界面，采用先进触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率。
主要元器件选用国际知名品牌。
