用德国***新技术工艺制作，具有完善的防腐设计。
适用于【125x125、156x156】硅片去磷硅玻璃清洗，200片/篮、300片/篮、400片/篮。具有3200p/hr的超大产能。
***新的硅片烘干技术，保证硅片干燥后不留水痕。
全程自动控制，可自动配液、补液，工艺槽自动循环，保证工艺药液的均匀。
高速移载机械手，运行更平稳，定位更可靠，保证运行中不产生晃动。
更人性化的操作界面，采用先进触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率。
主要元器件选用国际知名品牌。
全自动去磷硅玻璃清洗设备
