技术参数
炉室资料
坩埚直径 18“-22“
单晶直径 8“-10“
装料量 120 kg
炉筒直径 950 mm
喉管直径 12 in(305mm)
坩埚驱动单位
提升速度 0-10 in / hr(0-254mm/hr)
***大行程 19“( 480 mm)
转 速 0-20 rpm(std option)***大可达30rpm
籽晶驱动单位
提升速度 0-20 in / hr(0-510mm/hr)
转 速 0-50 rpm
厂务要求
电源电压 380±10%
频 率 50HZ
加热功率 165KW预留双加热器
环境温度 5~40
相对湿度 ＜70%
入口端***高水温 25℃
***小流量 295L/min
入口出口压力差 ＞1.5kg/cm2
主氩气流量 200 slpm
吹扫流量 100 slpm
合 计 300 slpm
推荐压力 ＞4.5 kg/cm2
压缩空气
推荐压力 ＞5.5 kg/cm2
控制系统
全自动生长控制过程
标准PLC/PC控制
选 项
多晶硅进料系统
真空泵
真空过滤系统
取晶车
坩埚装卸系统
外形尺寸
生长空间要求 7,650mm
总高度 7,200mm
宽 3,350mm
深 3,100mm
