少子寿命 ≥10μs
弯曲度 ≤35μm
电阻 1.0-3.0Ω.cm，3.0-6.0Ω.cm
氧含量 ≤1.0×1018 /cm3
碳含量 ≤5.0×1016/cm3
尺寸 125X125mm±0.5mm
156X156mm±0.5mm
厚度 170μm、200μm、220μm、240μm（±20）
TTV ≤20μm
垂直度变化 90°±0.2°
晶向 <100>
156单晶硅片
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156单晶硅片
详细信息 少子寿命 ≥10μs 弯曲度 ≤35μm 电阻 1.0-3.0Ω.cm，3.0-6.0Ω.cm 氧含量 ≤1.0×1018 /cm3 碳含量 ≤5.0×1016/cm3 尺寸 125X125mm±0.5mm 156X156mm±0.5mm 厚度 170μm、200μm、220μm、240μm（±20） TTV ≤20μm 垂直度变化 90°±0.2° 晶向 <100> |
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