应用：
-硅太阳能电池表面钝化（Surface Passivation)
-生产用（量产型）
特点：
-过程保证
-高产出： >1600 wph(30MW)
>3200 wph(50MW)
-易于维护
-前躯体源价格经济
-集成化过程模组
-Cassette to Cassette 操作
-气体管路集成化（专利技术）
量产型原子沉积设备
|
量产型原子沉积设备
详细信息 应用： -硅太阳能电池表面钝化（Surface Passivation) -生产用（量产型） 特点： -过程保证 -高产出： >1600 wph(30MW) >3200 wph(50MW) -易于维护 -前躯体源价格经济 -集成化过程模组 -Cassette to Cassette 操作 -气体管路集成化（专利技术） |
 产品分类
站内搜索 友情链接
|
