电阻率或方阻测量精度达到或接近国内外电阻率/方阻标准计量装置。
用途：可用于硅片或锗片电阻率的检定、校验，是电阻率/方阻高精度测量仪器。
适用范围：半导体材料质量检验中心、集成电路研发单位、企业中心检验室、省级计量院。
电阻率/方阻标准测量装置与国家计量检定规程规定的Ⅰ级四探针电阻率/方阻测试仪性能对比：
类别 性能 | Ⅰ级电阻率/方阻测试仪 | KDX系列电阻率/方阻标准测量装置 |
电气测量准确性 | 0.3% | 0.03-0.08% |
B类扩展不确定度 | 0.5% | 0.03-0.09% |
电阻率测量准确度 | ±3-±5% | ±0.2-±0.8% |
中心点电阻率测量重复性 | 未标定 | ±0.02-±0.12% |
注：以上性能参数随样品电阻率及电阻率均匀性的不同会有差异。电气测量准确度是用模拟电路法测定；电阻率测量准确度是与标准样片中心点电阻率检定值相比较。
价格：根据所需测量精度及配置要求商议。
