WJ-200B是针对大尺寸硅锭的测量而设计,可沿端面中轴线(Y轴),从硅锭头部向尾部以选定的间隔扫描测量;可在端面X轴方向从左到右(或从右到左),以选定的间隔扫描测量;可对整个端面做全扫描测量。以上三种测试方式均可由专用软件绘制测试结果彩色分布图、等高图、曲线图。
技术参数:
寿命测量范围:0.25μs-10ms;
电阻率测量范围:≥0.1-1Ω·cm;
***大可测样品尺寸:156×156×长mm(可根据用户需求订制);
扫描分辨率(mm):0.5、1、2、4、8、16;
寻边方式:微波自动寻边;
微波频率:10GHz;
红外激光波长:905nm;
脉冲频率:≈40Hz;
脉冲宽度:80-200ns可调;
测量重复性:短期不确定度优于±10%;
每点测量时间:0.6sec(含探头移动及及数据采集计算时间)。