WJ-200A是针对集成电路及太阳能电池级硅片、外延片、扩散片载流子寿命的扫描测试系统。可三维运动扫描整个测试样品，专用测试软件更人性化，操作简单，可绘制寿命测试结果分布彩图、数据分析等高图、曲线图。
技术参数：
寿命测量范围：0.25μs-10ms；
电阻率测量范围：≥0.1-1Ω·cm；
***大可测样品尺寸：300×300mm（可根据用户需求订制）；
扫描分辨率（mm）：0.5、1、2、4、8、16；
***大可测样品厚度：≤10mm；
寻边方式：微波自动寻边；
微波频率：10GHz；
红外激光波长：905nm；
脉冲频率：≈40Hz；
脉冲宽度：80-200ns可调；
测量重复性：短期不确定度优于±10%；
每点测量时间：0.6sec（含探头移动及及数据采集计算时间）。
