其主要的技术指标如下：
1）上轴行程：≥2500 mm
2）下轴行程：≥2000 mm
3）拉晶速度：0 ~ 30 ±1% mm/min
4）上下轴快速移动速度：≥300 mm/min
5）单晶直径：6~8英寸（153mm~205mm）
6）工艺氩气流量控制：0-50 ml/min
7）炉压：≥3.0×105Pa
8）真空度：≤1.0Pa
9）漏气速率（正负压状态）：≤5.0Pa/h
区熔硅单晶炉(FZ100A-ZJS)
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区熔硅单晶炉(FZ100A-ZJS)
详细信息 其主要的技术指标如下： 1）上轴行程：≥2500 mm 2）下轴行程：≥2000 mm 3）拉晶速度：0 ~ 30 ±1% mm/min 4）上下轴快速移动速度：≥300 mm/min 5）单晶直径：6~8英寸（153mm~205mm） 6）工艺氩气流量控制：0-50 ml/min 7）炉压：≥3.0×105Pa 8）真空度：≤1.0Pa 9）漏气速率（正负压状态）：≤5.0Pa/h |
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