太阳能级高纯石英坩埚(10＂－２8＂)

生产工艺

l 采用伯努利法制埚工艺生产石英坩埚，提高坩埚有效寿命10-20小时。

l 采用第二代非金属涂层工艺，避免钡类涂层对单晶的污染。

产品性能

l 太阳能级坩埚适用于拉制低氧碳大直径硅单晶。

l 低碱低铝坩埚应用半导体行业，打破国内依赖进口坩埚的历史。

l 热膨胀系数低，热稳定性好，能在高温下连续长时间工作并不形成方石英颗粒，性能稳定。

l 不产生棕色环，具有很高的无位错比。

l 高纯度原料，高粘度，低OH-羟基和低碱金属含量石英坩埚具有良好的抗析晶性能，提高单晶成品率和产量。