量产型原子沉积设备

应用：

-硅太阳能电池表面钝化（Surface  Passivation)

-生产用（量产型）

特点：

-过程保证

-高产出：   >1600 wph(30MW)

                 >3200 wph(50MW)

-易于维护

-前躯体源价格经济

-集成化过程模组

-Cassette to Cassette 操作

-气体管路集成化（专利技术）