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硅芯炉(JX-300)图1

硅芯炉(JX-300)

2022-11-28 14:029860询价
价格:电议

1. 设备概况

JX-300硅芯炉适合于多晶还原炉电极导体暨籽晶的生长,在低真空状态下充入氩气或氢气(不流通)利用高频线圈区域加热晶体母材使之产生溶池,用夹持籽晶的软轴引晶,拉制直径8毫米的晶棒供给多晶还原炉生产所需,JX-300硅芯炉可生产长2600毫米的硅芯。

2. 技术参数

项目参数
原料规格Ф40×400
成品规格Ф8×2200㎜、 Ф8×2600㎜
加热电源(2.0-2.5MHz) 30kW、70kVA
真空度≤3Pa
炉体总高5100mm/5300mm
炉体重量≈2500kg
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