石墨舟装片房

主要特点

① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位；

② 采用SUS304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；

③ 采用GK系列高效空气过滤器；

④ 净化风机噪音小于50dB；

⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。