采用第三代改良西门子技术，独创高效循环生产工艺，引进第二代尾气回收系统（CDI）、DCS控制系统及热氢化装置，其四氯化硅的回收利用率达到99%以上，可实现零排放标准。
多晶号 | 1#磷检 | 2#磷检 | 3#硼检 | 4#硼检 | |
检 | 型号 | N | N | P | P |
电阻率（Ω·cm） | 90 | 80 | 550 | 500 | |
寿命（us） | 250 | 290 |
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氧（at/cm3） | <5.0X1016 | <5.0X1016 |
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碳（at/cm3） | <3.0X1016 | <2.98X1016 |
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外观与夹层检验 |
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备注 | 样棒夹芯约1/3 | 样棒夹芯约1/3 | |||
其他
