多晶硅生长设备

■主要性能指标

◆12对加热棒

◆年产30-50吨

◆纯度9-12N

◆转化率：86%

◆电耗：50度每公斤

■技术指标

◆硅烷法多晶硅生长设备主要用于电子级多晶硅的生成，其主要是利用硅烷热分解法生产纯度较高的电子级多晶硅产品。

◆硅烷热分解法硅烷（SiH4）是将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。

◆设备的主要组成部分有：气源部分、反应室、真空系统、尾气处理部分和安全保护部分。

◆气源部分主要是提供多晶硅生长的原材料，以及对反应室和气路部分的吹扫等功能。