供156单晶,156多晶硅片。具体参数如下:
156×156多晶硅片
项目
标准
导电类型
P
掺杂剂
硼
边长
156±0.5mm
厚度
形状
方形
电阻率
0.5-3Ω.cm
少子寿命
≥1μs
氧含量
≤1×1018atoms/cm3
碳含量
≤5×1016atoms/cm3
翘曲度
≤200μm
总厚度差异
≤40μm
位错密度
线痕
崩边
宽度≤0.4mm,延伸≤0.8mm,每片总数量≤2个,间隔≥30mm
表面质量
表面清洁;无裂纹,明显刀痕,凹坑,缺口,孔洞
156×156单晶硅片
生长方式
CZ
晶向
〈100〉±1.0°
直径
200±0.5mm
200±20μm
准方形
1-3Ω.cm
≥10μs
≤75μm
≤1000个/cm3
深度≤10μm
电议
发布