生产方法 柴氏法CZ、 导电类型 P 型

型号掺杂 P/N型掺硼/磷 晶向偏差 ＜100＞±3°

纯度 6N 位错 <100/cm2

直径 150±0.3 mm 少子寿命 ≥10μs

氧含量 ≤1.0×1018 横截面边长 125±0.5mm

碳含量 ≤5.0×1016 四边垂直度 90±0.3°

电阻率 0.5~3Ω.cm，3~6Ω.cm 外观 无裂纹、无孪晶