156多晶硅片

导电类型　P

尺寸　　125X125mm±0.5mm

　　　　150X150mm±0.5mm

　　　　156X156mm±0.5mm

　　　　210X210mm±0.5mm

电阻　　0.5-3.0Ω.cm

少子寿命≥2μs

氧含量≤1.0×1018/cm3

碳含量≤5.0×1016/cm3

厚度200μm±20、220μm±20、240μm±20

TTV≤30μm

弯曲度≤30μm

锯痕≤10μm