156单晶硅片

少子寿命    ≥10μs                          

弯曲度       ≤35μm

电阻          1.0-3.0Ω.cm，3.0-6.0Ω.cm

氧含量       ≤1.0×1018 /cm3

碳含量       ≤5.0×1016/cm3                     

尺寸          125X125mm±0.5mm

                156X156mm±0.5mm

厚度          170μm、200μm、220μm、240μm（±20）

TTV           ≤20μm

垂直度变化 90°±0.2°

晶向           <100>