PECVD插片机

1.支持在线或离线,完美对接Tempress /CT/七星/丰盛/捷佳伟创等工艺炉；
2.高精度知名6轴机器人和航空特种铝材吸盘组，防止划伤发生；
3.石墨舟每槽掉片检测；
3.能完美适配常用各240片/280片/352片/400片/464片石墨舟;
4.***高产能6000pcs/h；
5.选配功能多样化：
a.上料碎片检测;b.下料色差检测;c.石墨舟漏吸片/放片检测；d.自动搬运舟。