一、特点
1、 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。
2、 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，保证探针的小游移率。
3、 采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。
4、 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。
二、用途
1、 测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
2、 测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。
三、探针间距
1、 直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探针…………… 1.00mm
3、 直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 两探针 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、技术指标
1、 游移率 B级…………… ＜0.5%
A级……………＜0.3% AA级………… ＜0.2%
AAA级…………＜0.1%
2、 间距偏差
B级…………… ＜3%
A级…………… ＜2%
AA级………… ＜2%
AAA级………… ＜1%
3、 ***大针与导孔间隙：0.006mm
4、 探针材料：硬质合金（主成份：进口碳化钨）或高速钢
5、 探针压力 标准压力：6—10N（4根针总压力）
小压力：1.2—5N（4根针总压力）
1牛顿（N）=101.97克
6、 针尖压痕直径：25—100μｍ、100—250μｍ（簿层）
7、 500V绝缘电阻：＞1000MΩ
