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主要特点
① 能够确保与pecvd石墨舟承载车准确定位；
② 采用sus304不锈钢制造，整机结构坚固可靠；
③ 采用gk系列高效空气过滤器；
④ 净化风机噪音小于50db；
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
主要技术参数
| 设备名称 | pecvd装片房 |
| 总功率 | 220v 800w |
| 时间显示 | 数显 |
| 控制方式 | 光电感应自动吹风，微电脑控制 |
| 离心风量 | 1000m3/h |
| 电压和功率 | ac220v/800w |
| 外形尺寸 | 1580×980×2650（mm） |
