应用领域
非晶硅膜系太阳能电池的透明导电膜(SnO2、AZO、ITO)非晶硅膜(a-Si、μc-Si)、背电极膜(ZnO、AL)等的激光刻膜(刻线、切割)其它薄膜电池的膜层刻膜(金属钼Mo薄膜、金属镍Ni 薄膜、碲化CdTe薄膜)
产品特点
高速气浮工作台:膜面朝上运行;自动识别跟踪定位
直线电机驱动;自动湿度补偿;半导休端面泵浦光纤耦合激光器
四光路同步输出;自动进出料自动上下料;静态显示(动态观察)
技术指标
型号规格 | GSF-P1 | GSF-P2 | GSF-P3 |
激光波长 | 1064nm | 532nm | 532nm |
有效加工幅画 | 1.1×1.4m (635×1245mm) | ||
***大运行速度 | 2000mm/s | ||
平均刻膜速度 | 800-1500mm/s | ||
重复定位精度 | ± 10μm | ||
运动直线度 | ± 10μm/1000mm | ||
***小刻膜线宽 | 30-60μm | ||
三线外沿总宽度 | 300-400μm |