全数字化多晶硅高压起动电源

硅芯冷态电阻率很大，采用高压击穿、中压继续加热的原理启动硅芯，启动过程快速可靠，对硅芯无污染。高压启动系统由高压启动与启动维持电源（选配）组成，两电源协调完成硅芯启动击穿与维持假加热过程。电源核心采用TCUS1控制器接受本地或远程给定，采集硅芯电压电流信号，调节晶闸管触发控制角，实现高压启动、维持过程中硅芯电源限制，电流闭环控制。