DRF-40单晶矽生长炉是能够生长无缺陷的硅锭的直径为1.5英寸，采用提拉法和先进的控制系统的。这些无缺陷的硅锭，可用于集成电路，以及太阳能应用。
项目 | 规范 | |
1 | ***大。锭直径 | ∮1.5“（∮40毫米） |
2 | 充电大小 | 3公斤/ 6“坩埚 |
3 | 炉膛尺寸 | ∮400 * 680MM |
4 | 喉径 | ∮100毫米 |
5 | 种子升降率 | 0.2-8mm/min |
6 | 种子旋转（可逆） | 0-30RPM |
7 | 坩埚旋转（可逆） | 0-30RPM |
8 | 总坩埚旅游 | 210毫米 |
9 | 电器（变压器容量） | 50KVA |
10 | 电极距离/数量 | ∮240MM / 2（正常） |
11 | ***大真空环境温度下。 | <3Pa的 |
12 | 重量 | 3500公斤 |
13 | 尺寸 | 2050 * 1000 *3500毫米（L * W * H） |
