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PECVD 全自动硅片装片机图1

PECVD 全自动硅片装片机

2022-11-28 14:459920询价
价格:电议

■ 产品用途

    本机主要功能是将硅片自动装入到专用花篮中。使用本机可以大大降低碎片率,减少手跟硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,有效的提高了成品率和转换率。

  本机托盘兼容156mm×156mm和125mm×125mm两种花篮格式,通过花篮下方传感器检测,不需任何操作即可自动实现单篮或双篮工作。

■ 技术指标

◆ 适用尺寸:

    156 mm×156 mm(±0.5mm);     

    125 mm×125 mm(±0.5mm)

◆ 厚度为:160um~280 um

◆ 装片效率:2280片/小时

◆ 碎片率:≤3/10000

◆ 电源:220V/50Hz

◆ 整机功耗:<500W

◆ 外型尺寸:

    1030mm×1030mm×1100mm

◆ 操作方式:全自动

■ 产品特点

◆ 非接触搬运硅片

◆ 不会在硅片上留下吸痕

◆ 不需要维护

◆ 不会弄脏吸附面

◆ 吸附力稳定可靠

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