管式镀膜硅片自动装载设备

　　管式镀膜自动装卸载设备，可有效实现石墨舟在线装卸载硅片，设备具备uptlme高、维护成本低．空间占用小等优点，可有效提升工厂产出。此设备为客户提供了—个管式镀膜制程在线装卸载硅片方案，精良的伯努利及真空机器手实现精确稳定的硅片定位及取放，可有效提高此制程的品质。同时．可选配搭载视觉颜色检测模组。