板式镀膜硅片自动装载设备

　　sL-系列设备用于搭载各式扳式嘲奠系统，不仅是快速及稳健的上下硅片系统，而且可帆单性及方便运载各种不同大小硅片。为因应不同制程，sL-系列设备亦可弹性的经由软件设定，硅片在镀膜后是否要翻面，以接续下—道制程。完全不需要更动倒可硬体设备。

　　人性化的视窗介面，提供了使用者快速和方便的设宅与操作，使用者可藉由操作酾，了解目前硅片所在的位置及设备的运作情况。