1. 设备概况
JRDL-800系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉,采用PLC控制,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。
2. 技术参数
项目 | 参数 |
加热器***大加热功率 | 140kW |
加热器***高加热电压 | 60V |
***高加热温度 | 1600OC |
晶体直径 | 6″- 8″ |
熔料量(18″坩埚) | 60kg |
主机***大高度 | 6360mm |
整机占地面积 | 5000×3000mm |
1. 设备概况
JRDL-800系列单晶炉是软轴提拉型单晶炉,采用PLC控制,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无位错单晶的设备,它可生产太阳能光伏电池和大规模集成电路所需要的高质量单晶。
2. 技术参数
项目 | 参数 |
加热器***大加热功率 | 140kW |
加热器***高加热电压 | 60V |
***高加热温度 | 1600OC |
晶体直径 | 6″- 8″ |
熔料量(18″坩埚) | 60kg |
主机***大高度 | 6360mm |
整机占地面积 | 5000×3000mm |