湿法制程设备

湿法制程设备
  非标定制硅片清洗机等湿法制程设备
  控制模式:  手动控制模式   自动控制模式。

  清洗能力：2-8英寸晶片或石英管或其他被洗工作。

  需甲方提供花篮或我司设计篮具。

  设备形式: 室内放置型。

  洁净度：千级洁净室 。      

 工艺说明:手动方式实现放片（工件），取片(工件)，槽体间传送片。

  工艺参数（温度，时间，DI水清洗流量，时间）手动设定。

  设备台面布局按用户要求配制。