湿法PSS设备
1.、Patterned Sapphire Substrate 即图形化蓝宝石基板，简称PSS设备
2、CGB湿法PSS设备针对GaN外延前蓝宝石衬底的腐蚀设计制造;
3、取代干法PSS工艺，大大降低工艺成本；
4、全自动高温腐蚀设备采用此种工艺，其可应用于：
（1）用于 LED 激光切割之后，去除烧结产物的高温清洗设备，快速高效经济效益 明显；
（2）采用 LED 蓝宝石图形化衬底工艺系统，将衬底材料的表面进行几何形状的粗 化，破坏光线在材料内部的全反射，以提升材料的发光效率(目前湿法腐蚀 PSS 工艺技术可使 LED 的发光率提升 15%~17%)。
5、 本产品在设计和制造上充分考虑了湿法PSS工艺的特型，使设备的安全性、可控性、可操作性得到完全保证；
6、设备主体钢骨架贴合进口 PP 板焊接而成，耐酸碱提高设备抗腐蚀能力，保证设备安全可靠；
7、完善的抽风系统，独立化的高温槽酸排风装置，安全预置系统保证设备安全可靠；
8、控制系统采用PLC与触摸屏控制，可实现多菜单、灵活界面操作；
9、全称自动控制，配备全自动机械手，整个生产过程高效率；
