石墨舟承载车

主要特点

① 承载装片车能够与PECVD准确的定位

② 采用不锈钢与铝型材制造，洁净度高。

③ 可调式油压缓冲器，冲击小，平稳。

④ 能平稳地将石墨舟在小车上旋转180度，倾斜翻转，确保简易方便的装硅片