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多晶硅片
2022-12-05 11:53
1164
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电议
多晶硅片规格
导电类型
电阻率 (Ω.cm)
碳含量
(atoms/cm3)
氧含量
(atoms/cm3)
少子寿命 (μs)
P型
0.5~3
≦1×1018
≦2×1018
≧2
硅片规格 (mm)
对角线长度 (mm)
厚度 (μm)
TTV (μm)
翘曲度 (μm)
Φ8":156±0.5
Φ8":219±0.5
180±20
≦30
≦40
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