| 品牌 | 标先（BOVCEED） | 型号 | SS III 系列 | 输入电压 | AC380V三相四线制 50-60HZ±10％（V） |
| 输出电压 | 空载800V[峰值电压]（V） | 输出功率 | 10-120KW（W） | 产品认证 | ISO9001 |
| 物料编号 | 4649 | 加工定制 | 是 | 适用范围 | 适用于反应膜层环境使用。 |
| 电源名称 | 直流脉冲磁控溅射电源 | 冷却方式 | 10-60KW风冷 60-120KW水冷 | 脉冲宽度 | 10-90％ |
| 输出方式 | 脉冲 |
SS-III系列直流磁控溅射电源技术规格 | |
SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，适用于反应膜层环境使用。 | |
电源功率范围 | 10-120KW |
输入电源 | AC380V三相四线制 50-60HZ±10％ |
输出方式 | 脉冲 |
脉冲宽度 | 10-90％ |
输出电压 | 空载800V[峰值电压] |
灭弧时间 | ≤3uS |
输出电流稳定率 | 0.5％ |
冷却方式 | 10-60KW风冷 60-120KW水冷 |
使用环境 | 环境温度 0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa |
通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 | |
