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SIC-II系列离子源电源用于阳极层型离子源的工作电源，电源提供了不同工作时段所需的阳极电压。SIC-II系列离子源电源采用高频开关方式，具有良好的稳定性及较高的工作效率
电源功率 5-15KW
输入电源 AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
阳极电源电压 DC0-1000V,DC0-3000V
阳极电源电流 DC0-15A,0-5A
输出稳定率 1％
冷却方式 风冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
通讯方式 模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
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