SS-T系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出。电源输出频率设为典型的40KHZ。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围 | 10-120KW |
输入电源 | AC380V三相四线制50-60HZ±10％ |
输出方式 | 交流正弦波 |
输出频率 | 40KHz |
输出电压 | 空载1000V[有效值] |
输出特性 | 恒流/恒功率 |
灭弧时间 | ≤3uS |
输出稳定率 | 1％ |
冷却方式 | 2-10KW风冷10-120KW水冷 |
使用环境 | 环境温度0-40℃ 环境湿度 相对湿度≤85％ 空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好 |
冷却水 | 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质 水温20-30℃ 压力0.15±0.05Mpa |
通讯方式 | 模拟/RS485/RS232 |
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 | |
