钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国内知名物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合国家标准GB/T24469-2009。
高纯度电子级氯化氢气体经国内外多家半导体材料生产企业在单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明,其主要性能技术指标与国外同类产品相当。
钢瓶装电子级氯化氢产品分别经国内知名物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,符合国家标准GB/T24469-2009。
高纯度电子级氯化氢气体经国内外多家半导体材料生产企业在单晶硅片气相抛光、外延基座腐蚀和硬质合金镀膜工艺中使用证明,其主要性能技术指标与国外同类产品相当。